范圍
每種傳感器都有各自的測量范圍,當(dāng)測量值在這個(gè)范圍內(nèi)時(shí),傳感器的輸出信號就會(huì)具有一定的精度。
傳感器的測量范圍XFS、滿量程輸出值YFS、測量上限Xmax、測量下限Xmin之間的關(guān)系如下圖所示。
靈敏度
傳感器的靈敏度是指其輸出變化量ΔY與其輸入變化量ΔX之比,可用k表示。對于線性度很高的傳感器,也可以認(rèn)為等于其滿量程輸出值YFS與其量程XFS之比。
高靈敏度通常意味著傳感器的信噪比高,這將有利于信號的傳輸、調(diào)理和計(jì)算。
線性
傳感器的線性度又稱非線性誤差,是指傳感器的輸出與輸入之間的線性程度。理想的傳感器輸入輸出關(guān)系應(yīng)該是線性的,這是使用最方便的。但實(shí)際的傳感器并不具備這種特性,而只是不同程度地接近這種線性關(guān)系。
實(shí)際應(yīng)用中,有些傳感器的輸入輸出關(guān)系很接近線性,在其范圍內(nèi)可以用直線擬合輸入輸出關(guān)系。有些傳感器的偏差較大,但通過非線性補(bǔ)償、微分使用等方法,也可以用直線擬合工作點(diǎn)附近一定范圍內(nèi)的輸入輸出關(guān)系。
選取擬合直線的方法有很多種,上圖是用最小二乘法求出的擬合直線,這是目前擬合精度最高的方法。實(shí)際特性曲線與擬合直線的偏差稱為傳感器的非線性誤差δ,其最大值與滿量程輸出值YFS的比值即為線性度γL。
滯后
當(dāng)輸入由小變大或由大變小時(shí),傳感器的輸出曲線通常不重疊。也就是說,對于同一個(gè)輸入信號,當(dāng)傳感器處于正行程或反行程時(shí),其輸出值是不同的,會(huì)有一個(gè)差值ΔH。這種現(xiàn)象稱為傳感器的遲滯。
產(chǎn)生遲滯現(xiàn)象的原因主要有傳感器敏感元件的材料特性、機(jī)械結(jié)構(gòu)特性等,例如運(yùn)動(dòng)部件的摩擦、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的間隙、磁敏感元件的遲滯等。
磁滯誤差γH的具體值一般用實(shí)驗(yàn)方法獲得,以正、反向沖程的最大輸出差ΔHmax的一半與其滿量程輸出值YFS的比值來表示。
重復(fù)性
即使傳感器的工作條件不變,如果它的輸入連續(xù)多次以同一方向(從小到大或從大到?。└淖儩M量程,則所得到的輸出曲線也會(huì)有所不同,可以用重復(fù)性誤差γR來表示。
重復(fù)性誤差是一種隨機(jī)誤差,通常用正向或反向行程中最大偏差ΔYmax的一半與其滿量程輸出值YFS之比來表示。
準(zhǔn)確性
在測試測量過程中,誤差是不可避免的,誤差主要有兩類:系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差。
造成系統(tǒng)誤差的原因包括測量原理和算法本身的誤差、儀器校準(zhǔn)不準(zhǔn)確、環(huán)境溫度影響、材料缺陷等,可以用準(zhǔn)確度來反映系統(tǒng)誤差的影響程度。
產(chǎn)生隨機(jī)誤差的原因有:傳動(dòng)件間的間隙,電子元器件的老化等,可以用精度來反映隨機(jī)誤差的影響。
精密度是反映系統(tǒng)誤差與隨機(jī)誤差的綜合指標(biāo),精密度高即表示準(zhǔn)確度高、精密度高。
評價(jià)傳感器精度比較常用的方法是將其表示為線性度、遲滯性和重復(fù)性三個(gè)誤差值的平方根。
解決
傳感器的分辨率表示它能夠檢測到的輸入量的最小變化。例如,最小刻度為 1 毫米的尺子無法區(qū)分長度差異小于 1 毫米的兩個(gè)物體。
有些工作在離散計(jì)數(shù)方式的傳感器,如光柵尺、旋轉(zhuǎn)編碼器等,其分辨率是由其工作原理決定的;有些工作在模擬量變化原理的傳感器,如熱電偶、傾角傳感器等,由于其內(nèi)部集成了A/D功能,可以直接輸出數(shù)字信號,因此其A/D的分辨率也限制了傳感器的分辨率。
有些采用模擬量變化原理工作的傳感器,如電流傳感器、電渦流位移傳感器等,輸出的是模擬信號,理論上它們的分辨率是無窮小的。但實(shí)際上,當(dāng)測量的變化值小到一定程度時(shí),輸出量的變化值和噪聲處于同一水平,是沒有意義的,相當(dāng)于限制了傳感器的分辨率。
零點(diǎn)漂移
當(dāng)傳感器輸入始終為零時(shí),傳感器輸出值仍會(huì)發(fā)生一定程度的微小變化,這就是零漂。引起零漂的原因有很多,如傳感器中敏感元件特性隨時(shí)間變化、應(yīng)力釋放、元件老化、電荷漏泄、環(huán)境溫度變化等。其中,因環(huán)境溫度變化引起的零漂是最常見的現(xiàn)象。
帶寬
在實(shí)際應(yīng)用中,大量的測量值都是隨時(shí)間變化的動(dòng)態(tài)信號,例如電流值的變化、物體位移的變化、加速度的變化等等。這就要求傳感器的輸出不僅要準(zhǔn)確地反映測量值的大小,而且還要能跟上測量值變化的快慢,這就指傳感器的動(dòng)態(tài)特性。
從傳遞函數(shù)的角度看,大多數(shù)傳感器可以簡化為一階或二階環(huán)節(jié),因此通常可以用帶寬來粗略地反映其動(dòng)態(tài)特性。
如下圖所示,在傳感器的帶寬內(nèi),其輸出的幅度在一定范圍內(nèi)變化很?。ㄗ畲笏p為0.707)。因此,當(dāng)輸入值呈正弦變化時(shí),一般認(rèn)為輸出值能夠正確反映輸入值,但當(dāng)輸入值變化的頻率較高時(shí),輸出值就會(huì)出現(xiàn)明顯的衰減,從而導(dǎo)致較大的測量失真。